سبسٹریٹ: B270®
جہتی رواداری:±0.1 ملی میٹر
موٹائی رواداری:±0.1 ملی میٹر
سطح کی ہمواری:3(1)@632.8nm
سطح کا معیار:60/40 یا اس سے بہتر
کنارے:گراؤنڈ اور بلیکن، 0.3 ملی میٹر زیادہ سے زیادہ مکمل چوڑائی بیول
پیچھے کی سطح:گراؤنڈ اور بلیکن
یپرچر صاف کریں:90%
متوازییت:<5″
کوٹنگ:حفاظتی ایلومینیم کوٹنگ، R>90%@430-670nm، AOI=45°