سبسٹریٹ:B270
جہتی رواداری: -0.1 ملی میٹر
موٹائی رواداری: ±0.05 ملی میٹر
سطح کی ہمواری:1(0.5)@632.8nm
سطح کا معیار: 40/20
لائن کی چوڑائی:0.1 ملی میٹر اور 0.05 ملی میٹر
کنارے:گراؤنڈ، 0.3 ملی میٹر زیادہ سے زیادہمکمل چوڑائی بیول
یپرچر صاف کریں: 90%
متوازییت:<5"
کوٹنگ:T<0.5%@200-380nm،
ٹی۔80%@410±3nm،
ایف ڈبلیو ایچ ایم<6nm
ٹی<0.5%@425-510nm
پہاڑ:جی ہاں