سیمیکمڈکٹر فیلڈ میں آپٹیکل ڈیزائن میں ایپلی کیشنز کی ایک وسیع رینج ہے۔ فوٹو لیتھوگرافی مشین میں ، آپٹیکل سسٹم روشنی کے منبع کے ذریعہ خارج ہونے والی روشنی کی روشنی پر توجہ مرکوز کرنے اور سرکٹ پیٹرن کو بے نقاب کرنے کے لئے اسے سلیکن ویفر پر پیش کرنے کے لئے ذمہ دار ہے۔ لہذا ، فوٹوولیتھوگرافی سسٹم میں آپٹیکل اجزاء کا ڈیزائن اور اصلاح فوٹوولیتھوگرافی مشین کی کارکردگی کو بہتر بنانے کا ایک اہم طریقہ ہے۔ مندرجہ ذیل کچھ آپٹیکل اجزاء ہیں جو فوٹوولیتھوگرافی مشینوں میں استعمال ہوتے ہیں:
پروجیکشن کا مقصد
01 پروجیکشن کا مقصد لتھوگرافی مشین میں ایک کلیدی آپٹیکل جز ہے ، جس میں عام طور پر لینسوں کی ایک سیریز ہوتی ہے جس میں محدب لینس ، مقعر لینس اور پریزم شامل ہیں۔
02 اس کا فنکشن ماسک پر سرکٹ پیٹرن کو سکڑنا ہے اور فوٹوورسٹ کے ساتھ لیپت ویفر پر فوکس کرنا ہے۔
03 پروجیکشن مقصد کی درستگی اور کارکردگی کا لتھوگرافی مشین کی قرارداد اور امیجنگ معیار پر فیصلہ کن اثر پڑتا ہے
آئینہ
01 آئینےروشنی کی سمت کو تبدیل کرنے اور اسے صحیح مقام کی طرف ہدایت کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔
02 EUV لتھوگرافی مشینوں میں ، آئینے خاص طور پر اہم ہیں کیونکہ EUV روشنی آسانی سے مواد کے ذریعہ جذب ہوجاتی ہے ، لہذا اعلی عکاسی کے ساتھ آئینے کا استعمال کرنا ضروری ہے۔
03 عکاس کی سطح کی درستگی اور استحکام کا لتھوگرافی مشین کی کارکردگی پر بھی بہت اچھا اثر پڑتا ہے۔
فلٹرز
01 فلٹرز کو روشنی کی ناپسندیدہ طول موج کو دور کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے ، جس سے فوٹوولیتھوگرافی کے عمل کی درستگی اور معیار کو بہتر بنایا جاتا ہے۔
02 مناسب فلٹر کو منتخب کرکے ، یہ یقینی بنایا جاسکتا ہے کہ صرف ایک مخصوص طول موج کی روشنی لتھوگرافی مشین میں داخل ہوتی ہے ، اس طرح لتھوگرافی کے عمل کی درستگی اور استحکام کو بہتر بناتا ہے۔
پرزم اور دیگر اجزاء
اس کے علاوہ ، لتھوگرافی مشین مخصوص لتھوگرافی کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے دوسرے معاون آپٹیکل اجزاء ، جیسے پریزم ، پولرائزر وغیرہ بھی استعمال کرسکتی ہے۔ لتھوگرافی مشین کی اعلی صحت سے متعلق اور کارکردگی کو یقینی بنانے کے ل these ان آپٹیکل اجزاء کے انتخاب ، ڈیزائن اور تیاری کو متعلقہ تکنیکی معیارات اور تقاضوں پر سختی سے عمل کرنا چاہئے۔
خلاصہ یہ کہ لتھوگرافی مشینوں کے میدان میں آپٹیکل اجزاء کے اطلاق کا مقصد لتھوگرافی مشینوں کی کارکردگی اور پیداوار کی کارکردگی کو بہتر بنانا ہے ، اس طرح مائکرو الیکٹرانکس مینوفیکچرنگ انڈسٹری کی ترقی کی حمایت کرتا ہے۔ لتھوگرافی ٹکنالوجی کی مستقل ترقی کے ساتھ ، آپٹیکل اجزاء کی اصلاح اور جدت بھی اگلی نسل کے چپس کی تیاری کے لئے زیادہ سے زیادہ صلاحیت فراہم کرے گی۔
مزید بصیرت اور ماہر مشورے کے لئے ، ہماری ویب سائٹ پر دیکھیںhttps://www.jiujonoptics.com/ہماری مصنوعات اور حل کے بارے میں مزید معلومات کے ل .۔
پوسٹ ٹائم: جنوری -02-2025
